中圖儀器3D粗糙度輪廓儀采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,，可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,，樣品表面形貌展示得更加清晰,，圖像更大，觀察更加方便,。其重建算法自動濾除樣品表面噪點,，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm,。

可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D,、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

EPSI重建算法

高速掃描的FVSI重建算法

中圖儀器3D粗糙度輪廓儀是以白光干涉技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器,。其載物臺尺寸為320*200mm（可定制）,，行程為140*110mm（可定制）；測量的Z向范圍可達(dá)10mm（2.5X鏡頭）,，Z向的最高精度可達(dá)0.1nm,。

【測量小尺寸樣品時】可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸,，XY載物臺標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm,，局部位移精度可達(dá)亞微米級別，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um,，Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍,，縱向分辨率可達(dá)0.1nm級別，因此可測非常微小尺寸的器件,；

【測量大尺寸樣品時】支持拼接功能,，將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um,；

應(yīng)用

在3C領(lǐng)域,，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量藍(lán)寶石屏、濾光片,、表殼等表面粗糙度；

在LED行業(yè),，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量藍(lán)寶石,、碳化硅襯底表面粗糙度；

在光纖通信行業(yè),，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量光纖端面缺陷和粗糙度,；

在集成電路行業(yè)，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度,；

在EMES行業(yè),，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量臺階高度和表面粗糙度；

在軍事領(lǐng)域,，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度,；

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